Cluster à chambres plasma pour le dépôt de couches minces au LPICM. Laboratoire de Physique des Interfaces et Couches Minces, École polytechnique, CNRS.
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Cluster à chambres plasma pour le dépôt de couches minces au LPICM. Laboratoire de Physique des Interfaces et Couches Minces, École polytechnique, CNRS.